微纳工艺技术

时间：2018-04-12 点击次数：0

微纳工艺平台致力于国际前沿的微纳工艺、器件和系统先期研究，有各类工艺设备120余台套，能够同时兼容GaN、SiC、Si等材料体系，线宽可至纳米量级，构建了完备的跨尺度精细加工条件，是同时具备6英寸硅基和化合物芯片制造、先进电子封装和三维异构集成能力的综合工艺研究平台。可为国家研发计划提供工艺支撑、为院内外单位提供工艺先导服务。

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